Для завершения процесса полировки мы должны выполнить основную конфигурацию. В дополнение к приготовлению полировальной машины, мы также должны приготовить полировальную подушку. Существует много классификаций полировальных площадок, разных материалов, и у каждого есть свои сильные стороны. Они могут быть использованы в полировке

В настоящее время химическая механическая полировка широко используется в планаризации межслойной планаризации субстратных вафлей и многослойной проводки. Полирующая колодка является важной частью системы химической механической полировки (CMP). У него есть функции хранения полировальной жидкости и транспорта

Полирующие колодки также называют полирующими шкунами, полирующими тканями, полировальными прокладками и являются важными вспомогательными материалами, которые определяют качество поверхности в химической механической полировании. Расположительные подушки можно разделить на абразивные полировальные прокладки и неабразивные полировальные прокладки в зависимости от того,