Применение полировальной прокладки в химической механической полировке

Полирующие колодки также называют полирующими скинами, полирующими тканью, полировальными прокладками и являются важными вспомогательными материалами, которые определяют качество поверхности в химической механической полировке.

Полирующие колодки можно разделить на абразивные полировальные колодки и неабразивные полировальные колодки в зависимости от того, содержат ли они абразивы; Согласно различным материалам, они могут быть разделены на полиуретановые полировальные прокладки, нетканые полировальные прокладки и композитные полировальные прокладки; Согласно различным поверхностным структурам, они могут быть примерно разделены на плоский тип, тип сетки и тип спиральной линии.

Вот список контента:

Я какова роль полировальной прокладки в обработке заготовки на поверхностной шлифовальной машине?

l Сколько способов для полировки?

Я влияя на факторы полировальной площадки

Какова роль полировальной прокладки при обработке заготовки на поверхностной шлифовальной машине?

Тополировальная площадкатранспортирует полировальную жидкость в различные области полировальной площадки эффективно и равномерно; Полирующая колодка плавно разряжает реагенты и мусор, которые были полностью химически реагированы после полировки для достижения эффекта удаления;

Поддерживать полировальную жидкую пленку на поверхности полировальной прокладки, так что химическая реакция может полностью продолжить; Полирующая колодка поддерживает гладкость процесса полировки, а поверхность не деформируется, чтобы получить лучшую морфологию поверхности пластины.

Сколько способов для полировки?

Существует множество традиционных технологий Planarization материалов, таких как способ теплового потока, метод травления, метод вращающегося стекла, метод резонансного стекла, электрон. Способ резонанса, CVD низкого давления, селективное осаждение, осаждение-наложение, расширение плазмы. Процесс планаризации был применен в разработке. Поскольку эти технологии относятся к местным технологиям материалов, для достижения глобальной планаризации, использование полирующих прокладок для технологий химической механической полировки постепенно начала развиваться.

Полировальная прокладка является одной из важных расходных материалов, которые определяют уровень полировки и способность планаризации в процессе CMP. Чтобы сыграть лучшую роль с абразивом, полировальная прокладка обычно имеет определенные механические свойства и пористые характеристики водопоглощения. Отверстия могут помочь перенести абразивы и улучшить однородность полировки.

Существует три основных типа полирующих прокладок: полиуретановые полировальные прокладки, нетканые полировальные прокладки и полировальные колодки структуры пуха.

Влияющие факторы полировальной площадки

Твердость: твердость полировальной колодки определяет способность поддерживать точность поверхности; Коэффициент сжатия: соотношение сжатия отражает анти-деформационную способность полировальной прокладки; Сохранение: сохранение полировальной прокладки - это качество полировальной жидкости, хранящейся на единицу объема полировальной прокладки; Шероховатость: шероховатость поверхности - это степень неравномерности на поверхности полировальной прокладки; Плотность: плотность - это степень компактности материала для полировки;

Сегодня заводы полировки подушечны были хорошо развиты, с широким спектром продаж, и постепенно следует соответствовать международным стандартам. Поэтому разные производители выберут различные полировальные прокладки. Будь то обычная полировальная прокладка или супер полировальная прокладка. Полирующая прокладка, производимаяHubei Little Ant Diamond Tools Co., LtdОтказ является лучшим выбором для сухой полировки.